プラズマ流中に挿入した金属板前面のさや電場分布に及ぼすバイアス効果の分光学的測定

文献

J-GLOBAL ID：200902178476767143 整理番号：01A0462018

Spectroscopic measurement of biasing effect on sheath electric field distribution in front of a metal plate inserted in a plasma flow.

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資料名：
巻： 290/293 ページ： 976-979 発行年： 2001年03月
JST資料番号： D0148A ISSN： 0022-3115 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ECRプラズマ源からのHeプラズマ流に挿入した負にDCバイア...

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固体-プラズマ相互作用 , プラズマ診断

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