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J-GLOBAL ID:200902178660612837   整理番号:97A0950584

水素結合の形成によるアルミニウムとシリコンの直接結合

Direct Bonding between Aluminum and Silicon by the Formation of Hydrogen Bonds.
著者 (3件):
資料名:
巻: 40  号:ページ: 453-458  発行年: 1997年10月 
JST資料番号: G0026B  ISSN: 1344-7912  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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本論分ではアルミニウムとシリコンを水素結合を利用して比較的低...
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引用文献 (13件):
  • IWAMOTO, S. Joining of Ceramics to Metals. 1990, 285-317
  • SUGA, T. Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995, 413
  • PAULING, L. The Nature of the Chemical Bond. 408
  • LASKY, J. B. Appl. Phys. Lett. 1986, 48, 78
  • TONG, Q. Y. Mater. Chem. & Phys. 1992, 37, 101
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