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J-GLOBAL ID：200902178771752077   整理番号：97A0524826

Ti,TiNターゲットを用いたレーザーアブレーション法によるTi-N薄膜形成

Formation of Ti-N films by PLD method using Ti or TiN target.

著者 (4件)： 松谷貴臣 (近畿大 理工) ,  松栄宏明 (近畿大 理工) ,  中山斌義 (近畿大 理工) ,  久保宇市 (近畿大 理工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 44th  号： 3  ページ： 954  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ti ,  TiN ,  ターゲット ,  レーザーアブレーション法 ,  薄膜形成