次世代ハードディスク用非晶質ダイヤモンド様炭素並びに非晶質CN<sub>x</sub>保護被覆の構造並びにトライボロジー特性評価

SCHARF T W; OTT R D; YANG D; BARNARD J A

文献

J-GLOBAL ID：200902178802434443 整理番号：99A0369536

次世代ハードディスク用非晶質ダイヤモンド様炭素並びに非晶質CN_x保護被覆の構造並びにトライボロジー特性評価

Structural and tribological characterization of protective amorphous diamond-like carbon and amorphous CN_x overcoats for next generation hard disks.

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資料名：
巻： 85 号： 6 ページ： 3142-3154 発行年： 1999年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

厚さ5nmの非晶質ダイヤモンド様炭素(a:C)及び窒素化ダイ...

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その他の無機化合物の薄膜 , その他の非晶質の構造

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次世代ハードディスク用非晶質ダイヤモンド様炭素並びに非晶質CNx保護被覆の構造並びにトライボロジー特性評価

次世代ハードディスク用非晶質ダイヤモンド様炭素並びに非晶質CN_x保護被覆の構造並びにトライボロジー特性評価