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J-GLOBAL ID：200902178857726230   整理番号：95A0877995

Electrical Characterization of Across-Field Lithographic Performance for 256M bit DRAM Technologies.

著者 (5件)： IBA J (TOSHIBA Corp.) ,  HASHIMOTO K (TOSHIBA Corp.) ,  FERGUSON R A (IBM Corp., NY, USA) ,  YANAGISAWA T (IBM Corp., NY, USA) ,  SAMUELS D J (IBM Corp., NY, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2512  ページ： 218-225  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： BIT ,  DRAM