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J-GLOBAL ID：200902179221686952   整理番号：02A0745480

分子材料及びナノ粒子材料のエッジ移動リソグラフィー

Edge Transfer Lithography of Molecular and Nanoparticle Materials.

著者 (7件)： CHERNIAVSKAYA O (Columbia Univ., New York) ,  ADZIC A (Columbia Univ., New York) ,  KNUTSON C (Columbia Univ., New York) ,  GROSS B J (Columbia Univ., New York) ,  ZANG L (Columbia Univ., New York) ,  LIU R (Columbia Univ., New York) ,  ADAMS D M (Columbia Univ., New York)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 18  号： 18  ページ： 7029-7034  発行年： 2002年09月03日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エッジ移動リソグラフィーと呼ばれる単純かつ一般的方法を用い,...

シソーラス用語： *リソグラフィー ,...
準シソーラス用語： ミクロ接触プリント ,...

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分類 (2件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： ジメチルドデシルクロロシラン ,  ジメチルオクタデシルメトキシシラン

タイトルに関連する用語 (4件)： 分子 ,  粒子材料 ,  エッジ ,  リソグラフィー