二重イオンビームスパッタリングで堆積したZnO薄膜

QUARANTA F; VALENTINI A; RIZZI F R; CASAMASSIMA G

文献

J-GLOBAL ID：200902179445717250 整理番号：93A0667559

二重イオンビームスパッタリングで堆積したZnO薄膜

Dual-ion-beam sputter deposition of ZnO films.

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資料名：
巻： 74 号： 1 ページ： 244-248 発行年： 1993年07月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記の堆積技術ではZnOターゲットをArイオンビームでスパッ...

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半導体薄膜

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