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J-GLOBAL ID：200902179492863507   整理番号：02A0466388

EUV露光光波面収差測定用シアリング干渉計の基礎検討

著者 (3件)： ZHU Y (超先端電子技術開発機構) ,  杉崎克己 (超先端電子技術開発機構) ,  五明由夫 (超先端電子技術開発機構)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 49th  号： 2  ページ： 719  発行年： 2002年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 真空紫外線 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： EUV ,  露光 ,  波面収差 ,  シアリング干渉計 ,  基礎