イオンビーム衝撃下での水素不含非晶質炭素膜の相転移

LIOUTAS C B; VOUROUTZIS N; LOGOTHETIDIS S; BOULTADAKIS S

文献

J-GLOBAL ID：200902179804539028 整理番号：98A0752179

イオンビーム衝撃下での水素不含非晶質炭素膜の相転移

Phase transformation of hydrogen free amorphous carbon films under ion beam bombardment.

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巻： 36 号： 5/6 ページ： 545-548 発行年： 1998年
JST資料番号： H0270B ISSN： 0008-6223 CODEN： CRBNA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

室温でRFマグネトロンスパッタリングにより調製した4面体標記...

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炭素とその化合物 , その他の無機化合物の薄膜 , 相転移・臨界現象一般

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