種々の方法で調製したダイヤモンド状炭素膜の表面粗さ

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J-GLOBAL ID：200902179956024325 整理番号：01A0306553

Surface roughness of diamond-like carbon films prepared using various techniques.

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巻： 138 号： 1 ページ： 23-32 発行年： 2001年04月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

メタンのRFグロー放電、RFバイアスDCマグネトロンスパッタ...

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半導体薄膜 , 半導体の放射線による構造と物性の変化

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