精密・超精密位置決めの現状と将来予想  精密・超精密位置決めの高速化  ボールねじ対リニアモータ

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J-GLOBAL ID：200902180400641021 整理番号：01A0256051

精密・超精密位置決めの現状と将来予想精密・超精密位置決めの高速化ボールねじ対リニアモータ

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資料名：
巻： 67 号： 2 ページ： 179-183 発行年： 2001年02月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

精密工学会2000年春季大会で開催された「高速・高精度位置決...

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精密機械一般

引用文献 (10件)：

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