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J-GLOBAL ID:200902180558483024   整理番号:97A1028153

a-Si:H太陽電池の低コスト生産のためのVHFプラズマの可能性

Potential of VHF-plasmas for low-cost production of a-Si:H solar cells.
著者 (6件):
資料名:
巻: 48  号: 1/4  ページ: 343-350  発行年: 1997年11月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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標準グロー放電技術の使用と比べて,超短波グロー放電(VHF-...
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分類 (3件):
分類
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太陽電池  ,  半導体薄膜  ,  プラズマ応用 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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