高周波超音波利用のミクロンサイズ粒子除去のメカニズム

QI Q; BRERETON G J

文献

J-GLOBAL ID：200902180603558987 整理番号：95A0751388

高周波超音波利用のミクロンサイズ粒子除去のメカニズム

Mechanisms of Removal of Micron-Sized Particles by High-Frequency Ultrasonic Waves.

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資料名：
巻： 42 号： 4 ページ： 619-629 発行年： 1995年07月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Siウエハ面に付着した微粒子の如きミクロンサイズ粒子の除去を...

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固体デバイス製造技術一般

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