負イオン生成により電子が欠乏した塩素プラズマ下方流中の明確なクロムエッチング

ICHIKI T; TAKAYANAGI S; HORIIKE Y

文献

J-GLOBAL ID：200902180611644639 整理番号：00A1031982

負イオン生成により電子が欠乏した塩素プラズマ下方流中の明確なクロムエッチング

Precise Chrome Etching in Downstream Chlorine Plasmas with Electron Depletion Through Negative Ion Production.

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巻： 147 号： 11 ページ： 4289-4293 発行年： 2000年11月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

0.1μm級デバイスに至るマイクロパターニングにおいて,フォ...

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固体デバイス製造技術一般

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