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J-GLOBAL ID：200902180808478781   整理番号：00A0433926

高性能平面ピエゾ抵抗加速度計

A High-Performance Planar Piezoresistive Accelerometer.

著者 (8件)： PARTRIDGE A (Stanford Univ., CA, USA) ,  KURTH REYNOLDS J (Stanford Univ., CA, USA) ,  CHUI B W (LightConnect Inc., CA, USA) ,  CHOW E M (Stanford Univ., CA, USA) ,  FITZGERALD A M (Stanford Univ., CA, USA) ,  ZHANG L (Stanford Univ., CA, USA) ,  MALUF N I (Lucas NovaSensor, CA, USA) ,  KENNY T W (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 9  号： 1  ページ： 58-66  発行年： 2000年03月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ加工されたピエゾ抵抗加速度計が開発されてから20年経...

シソーラス用語： *圧抵抗効果 ,...

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分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高性能 ,  ピエゾ抵抗 ,  加速度計