鉄基板上へのプラズマ重合ヘキサメチルジシラザンの核形成と成長

GRUNDMEIER G; STRATMANN M

文献

J-GLOBAL ID：200902180864498531 整理番号：96A0034269

鉄基板上へのプラズマ重合ヘキサメチルジシラザンの核形成と成長

Nucleation and Growth of Plasma-Polymerised Hexamethyldisilazane on Iron-Substrates.

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巻： 99 号： 11 ページ： 1387-1392 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0432A ISSN： 0005-9021 CODEN： BBPCAX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

標題について,高周波放電により重合蒸着させたヘキサメチルジシ...

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単独重合 , 有機化合物の薄膜

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