高誘電率の五酸化タンタル六方多形体

HIRATANI M; KIMURA S; HAMADA T; IIJIMA S; NAKANISHI N

文献

J-GLOBAL ID：200902180885916384 整理番号：02A0778787

高誘電率の五酸化タンタル六方多形体

Hexagonal polymorph of tantalum-pentoxide with enhanced dielectric constant.

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巻： 81 号： 13 ページ： 2433-2435 発行年： 2002年09月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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誘電体一般 , 酸化物薄膜

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