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J-GLOBAL ID：200902181055701713   整理番号：00A0057499

超純水・純水の規格と水の精製法

Specifications and Purification Methods for Ultrapure Water and Pure Water.
著者 (1件)：
中村穣

中村穣 について

(野村マイクロ・サイエンス開発研究所)

野村マイクロ・サイエンス開発研究所 について


資料名：
ぶんせき

ぶんせき について


号： 12  ページ： 1009-1016  発行年： 1999年12月05日 
JST資料番号： S0128B  ISSN： 0386-2178  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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抄録/ポイント
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純水の規格,基準及び精製法は半導体製造,医薬品製造,発電,試...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*超純水

超純水 について

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水質分析

水質分析 について


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分類 (1件)：
分類
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上水道工学・用水処理一般 
(SC02010X)

上水道工学・用水処理一般 について

引用文献 (15件)：
  • 半導体製造装置協会. 半導体製造装置用語辞典(第4版). 1997
  • 用水・排水の試験に用いる水. JIS K 0557. 1998
  • SEMIスタンダード集(1998年日本語版). 1999, 1
  • 第13改正日本薬局方. 1996
  • 長島潜. 工業用水. 1996, 454, 50
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タイトルに関連する用語 (4件)：
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純水

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規格

規格 について

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水

水 について

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精製

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