溶液化学法による二酸化ルテニウム薄膜の合成

TRESSLER J F; WATANABE K; TANAKA M

文献

J-GLOBAL ID：200902181221990893 整理番号：96A0310069

溶液化学法による二酸化ルテニウム薄膜の合成

Synthesis of Ruthenium Dioxide Thin Films by a Solution Chemistry Technique.

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巻： 79 号： 2 ページ： 525-529 発行年： 1996年02月
JST資料番号： C0253A ISSN： 0002-7820 CODEN： JACTAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

平滑で微粒子の二酸化ルテニウム薄膜を,<100>けい素基板上...

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酸化物薄膜

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