Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜のマイクロ波特性の測定におけるウェーハ上TRL較正の応用

LUE H-T; TSENG T-Y

文献

J-GLOBAL ID：200902181451555436 整理番号：02A0127870

Ba_0.5Sr_0.5TiO₃薄膜のマイクロ波特性の測定におけるウェーハ上TRL較正の応用

Application of On-Wafer TRL Calibration on the Measurement of Microwave Properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ Thin Films.

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資料名：
巻： 48 号： 6 ページ： 1640-1647 発行年： 2001年11月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

異なる幾何構造と薄膜配置のAl/Ba0.5</su...

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伝送線 , 酸化物薄膜 , 強誘電体,反強誘電体,強弾性

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