噴射加工による硬脆材料の微細加工

文献

J-GLOBAL ID：200902181696782268 整理番号：99A0012702

The fine processing of the crustaceous material by the injection processing.

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著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 1998 ページ： 217-220 発行年： 1998年
JST資料番号： L0894A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

標記加工に使用される微粉噴射加工装置の概要および半導体,電子...

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特殊加工 , 固体デバイス製造技術一般

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