文献

J-GLOBAL ID：200902181903554688   整理番号：95A0262278

可変焦点三次元特殊厚みガラスダイアフラムレンズ

Special Issue on Micromachines and Micro Electro Mechanical Systems. 3-Dimensional Specific Thickness Glass Diaphragm Lens for Dynamic Focusing.

著者 (5件)： KANEKO T (Nippondenso Co., Ltd., Aichi-ken, JPN) ,  YAMAGATA Y (Kanagawa Academy of Science and Technology, Kawasaki-shi, JPN) ,  IDOGAKI T (Nippondenso Co., Ltd., Aichi-ken, JPN) ,  HATTORI T (Nippondenso Co., Ltd., Aichi-ken, JPN) ,  HIGUCHI T (Kanagawa Academy of Science and Technology, Kawasaki-shi, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E78-C  号： 2  ページ： 123-127  発行年： 1995年02月 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三次元特殊厚み形状により,可変短焦点距離での収差を低減する標...

シソーラス用語： 三次元 ,...

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分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• SHIONO. Reflection micro-fresnel lenses and their use in an integrated focus sensor. Applied Optics. 1989, vol.28, no.15, 3434-3442
• HARADA, M. Variable-focus Concave Mirror utilizing Single Crystal Si Diaphragm. Proc. IEE Japan. 1989, no.715, 6.163-6.164
• HISANAGA, M. Fabrication of 3-dimensionally shaped Si diaphragm dynamic focusing mirror. Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1993, 30-35
• SAWADA, R. Fabrication of Advanced Integrated Optical Micro-encoder Chip. Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1994, 337-342
• BLOOMSTEIN, T. M. Laser Deposition and Etching of Three-Dimensional Microstructures. Tech. Digest IEEE Int. Conf. on Solid State Sensors and Actuators. 1991, 507-511

タイトルに関連する用語 (2件)： 可変焦点 ,  厚み