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J-GLOBAL ID：200902181948529501   整理番号：99A0935973

多モードアンテナを用いた誘導結合プラズマにおける電子エネルギーの制御

Electron Energy Control in Inductively Coupled Plasma Employing Multimode Antenna.

著者 (5件)： SHINDO H (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  URAYAMA T (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  FUJII T (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  HORIIKE Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJII S (ADTEC Co., Ltd., Fukuyama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 38  号： 9A/B  ページ： L1066-L1069  発行年： 1999年09月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超大規模集積回路(ULSI)製作プロセスにおける高エッチング...

シソーラス用語： 誘導結合プラズマ ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

引用文献 (11件)：

• 1) Y. Horiike, H. Okano, T. Yamazaki and H. Horie: Jpn. J. Appl. Phys. 20 (1981) L819.
• 2) K. Suzuki, S. Okudaira, N. Sakudo and I. Kanomata: Jpn. J. Appl. Phys. 16 (1977) 1979.
• 3) A. J. Perry, D. Vender and W. Boswell: J. Vac. Sci. & Technol. B 9 (1991) 310.
• 4) J. Hopwood, C. R. Guarnieri, S. J. Whitehair and J. J. Cuomo: J. Vac. Sci. & Technol. A 11 (1993) 147.
• 5) T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) L43.

タイトルに関連する用語 (4件)： 多モード ,  アンテナ ,  誘導結合プラズマ ,  電子エネルギー