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J-GLOBAL ID:200902181984266070   整理番号:00A0990293

CVDダイアモンドにおける単一置換型窒素と空格子点と結合した窒素の相対的割合

Relative Abundance of Single and Vacancy-Bonded Substitutional Nitrogen in CVD Diamond.
著者 (6件):
資料名:
巻: 181  号:ページ: 83-90  発行年: 2000年09月16日 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 0031-8965  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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10ppmの窒素不純物濃度レベルをもつ約0.2μm厚みのCV...
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分類 (2件):
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半導体の格子欠陥  ,  半導体薄膜 
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