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J-GLOBAL ID：200902182322286255   整理番号：97A0245111

Si基板上のLaNiO₃薄膜の集合組織化におけるスパッタリングターゲット組成の影響

Effect of Sputtering-Target Composition on the Texturization of LaNiO₃ Thin Films on Si Substrate.

著者 (3件)： LEE H-Y (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  WU T-B (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LEE J-F (Synchrotron Radiation Res. Center, Hsinchu, TWN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36  号： 1A  ページ： 301-306  発行年： 1997年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高度に(100)集合組織化した標記薄膜をrfマグネトロンスパ...

シソーラス用語： ニッケル酸塩 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (21件)：

• 1) R. Bruchhaus, D. Pitzer, O. Eibl, V. Scheithauer and W. Hoesler: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 243 (1992) 123.
• 2) M. C. Jiang and T. B. Wu: J. Mater. Res. 9 (1994) 1879.
• 3) J. F. Scott and C. A. Paz de Araujo: Science 246 (1989) 1400.
• 4) C. B. Eom, R. B. V. Dover, J. M. Phillips, R. M. Fliming, R. J. Cava, J. H. Marshall, D. J. Werder, C. H. Chen and D. K. Fork: Ferroelectric Thin Films III, eds. E. R. Mayers, B. A. Tuttle, S. B. Desu and P. K. Larsen, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 310 (1993) 145.
• 5) D. P. Vijat and S. B. Desu: J. Electrochem. Soc. 140 (1993) 2640.

タイトルに関連する用語 (6件)： Si基板 ,  LaNiO3 ,  薄膜 ,  集合組織 ,  スパッタリングターゲット ,  組成