文献
J-GLOBAL ID：200902182754193851   整理番号：95A0026482

誘導結合プラズマ(ICP)のキャラクタリゼーション

Characterization of Inductive Coupled Plasma.
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著者 (4件)：
SATO M

SATO M について

(SHARP Corp., Nara, JPN)

SHARP Corp., Nara, JPN について

, 
TAKENAKA N

TAKENAKA N について

(SHARP Corp., Nara, JPN)

SHARP Corp., Nara, JPN について

, 
ISHIHAMA A

ISHIHAMA A について

(SHARP Corp., Nara, JPN)

SHARP Corp., Nara, JPN について

, 
SAKIYAMA K

SAKIYAMA K について

(SHARP Corp., Nara, JPN)

SHARP Corp., Nara, JPN について


資料名：
Proceedings of Symposium on Dry Process  (Proceedings of Symposium on Dry Process)

Proceedings of Symposium on Dry Process について


巻： 16th  ページ： 27-30  発行年： 1994年11月 
JST資料番号： Y0378A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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C2F6を用いて...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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誘導結合プラズマ

誘導結合プラズマ について

,...
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プラズマプロセシング

プラズマプロセシング について


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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  プラズマ装置 
(BJ02082I)

プラズマ装置 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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誘導結合プラズマ

誘導結合プラズマ について

, 
ICP

ICP について

, 
キャラクタリゼーション

キャラクタリゼーション について


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