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J-GLOBAL ID：200902183118596390   整理番号：01A0791220

アクリル/シリカ有機-無機ハイブリッド型電子線レジストの合成と特性

著者 (7件)： 玉井聡行 (大阪市工研) ,  松浦幸仁 (大阪市工研) ,  松川公洋 (大阪市工研) ,  井上弘 (大阪市工研) ,  浜本哲也 (大阪科学技術セ) ,  豊田宏 (大阪科学技術セ) ,  佐藤和郎 (大阪府産業技総研)
資料名： 高分子学会予稿集  (Polymer Preprints, Japan)
巻： 50  号： 4  ページ： 770  発行年： 2001年05月07日 
JST資料番号： Z0703B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： フォトレジスト ,...
準シソーラス用語： シリカ

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： テトラエトキシシラン

タイトルに関連する用語 (4件)： アクリル ,  シリカ ,  有機-無機ハイブリッド ,  電子線レジスト