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J-GLOBAL ID：200902183795529836   整理番号：02A0026485

熱白金薄膜を用いた風速計

Anemometer with hot platinum thin film.

著者 (7件)： MAILLY F (Univ. Montpellier II, Montpellier, FRA) ,  GIANI A (Univ. Montpellier II, Montpellier, FRA) ,  BONNOT R (Univ. Montpellier II, Montpellier, FRA) ,  TEMPLE-BOYER P (LAAS-CNRS, Toulouse, FRA) ,  PASCAL-DELANNOY F (Univ. Montpellier II, Montpellier, FRA) ,  FOUCARAN A (Univ. Montpellier II, Montpellier, FRA) ,  BOYER A (Univ. Montpellier II, Montpellier, FRA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A94  号： 1/2  ページ： 32-38  発行年： 2001年10月31日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンマイクロマシニング手法を使って,低消費電力で高感度な...

シソーラス用語： *熱線風速計 ,...

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分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 白金薄膜 ,  風速計