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J-GLOBAL ID：200902183826903812   整理番号：99A0968348

イオンビームによる石英ガラス,シリコン熱酸化膜中のナノサイズシリコン微粒子形成とその物性

Optical propertis of Si nanoclusters in SiO₂ fabricated by ion implantation.

著者 (1件)： 岩山勉 (愛知教大)
資料名： 日本板硝子材料工学助成会成果報告書  (Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering Report)
巻： 17  ページ： 13-18  発行年： 1999年09月 
JST資料番号： X0948A  ISSN： 0910-559X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イオン注入法によるシリコンナノクラスターの二酸化けい素中での...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (6件)： イオンビーム ,  石英ガラス ,  シリコン ,  熱酸化膜 ,  微粒子 ,  物性