パルスマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成におけるH<sub>2</sub>プラズマ前処理の効果

文献

J-GLOBAL ID：200902184010783629 整理番号：98A0438327

パルスマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成におけるH₂プラズマ前処理の効果

Effect of H2 plasma pretreatment on diamond composition by pulse microwave plasma CVD.

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資料名：
巻： 96th ページ： 79-80 発行年： 1997年09月
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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