低温での反応性スパッタによるTiN/CrN多層膜の高温酸化

文献

J-GLOBAL ID：200902184031304488 整理番号：98A0385168

High-temperature oxidation of TiN/CrN multilayers reactively sputtered at low temperatures.

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巻： 98 号： 1/3 ページ： 1497-1502 発行年： 1998年01月
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

皮膜の多層化による性能向上に関して標記の検討を行った。PAC...

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金属材料へのセラミック被覆 , 非金属材料へのセラミック被覆 , その他の無機化合物の薄膜

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