イオン注入装置 生産用高エネルギイオン注入装置“NH-50 SR”

佐々木正昭; 田村喜生; 大西豊一; 新山哲男; 西村信一郎; 吉備康浩; 塩尻史郎; 内藤勝男; 浜本成顕

文献

J-GLOBAL ID：200902184598474767 整理番号：95A0066591

イオン注入装置生産用高エネルギイオン注入装置“NH-50 SR”

Ion Implantation System. High Cost-performance High Energy Implanter NH-50SR.

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資料名：
巻： 39 号： 3 ページ： 31-36 発行年： 1994年11月
JST資料番号： S0817B ISSN： 0549-5377 CODEN： NIDGA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

フィールドで実証ずみの技術に新規開発の多価イオン源,および縮...

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固体デバイス製造技術一般

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