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J-GLOBAL ID：200902184894425283   整理番号：96A0961271

Novel Alkaline-Soluble Alicyclic Polymer Poly(TCDMACOOH) for ArF Chemically Amplified Positive Resists.

著者 (4件)： MAEDA K (NEC Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAKANO K (NEC Corp., Kanagawa, JPN) ,  OHFUJI T (NEC Corp., Kanagawa, JPN) ,  HASEGAWA E (NEC Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2724  ページ： 377-385  発行年： 1996年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： ARF