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J-GLOBAL ID：200902185268627571   整理番号：99A0967025

アンバランスドマグネトロンスパッタリング成膜によるDLCコーティング膜の高硬度化

High hardness of DLC coating film made by unbalanced magnetron sputtering.

著者 (4件)： 松岡直樹 (神戸製鋼所 材研) ,  岩村栄治 (神戸製鋼所 材研) ,  宮本隆志 (神戸製鋼所 材研) ,  赤理孝一郎 (神戸製鋼所)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 100th  ページ： 170-171  発行年： 1999年09月17日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： アンバランスドマグネトロンスパッタリング(UBM)と,フェラ...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 成膜 ,  DLC ,  コーティング膜 ,  高硬度