陰極にダイヤモンドを用いた直流プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成

文献

J-GLOBAL ID：200902185278673059 整理番号：98A0285540

Diamond Films Synthesized by DC Plasma CVD with a Diamond Cathode.

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資料名：
巻： 49 号： 1 ページ： 94-95 発行年： 1998年01月
JST資料番号： G0441B ISSN： 0915-1869 CODEN： HYGIEX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

標記法で得た薄膜の膜質の評価と合成条件について検討した。基板...

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炭素とその化合物 , その他の無機化合物の薄膜 , 合成鉱物

引用文献 (6件)：

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