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J-GLOBAL ID：200902185280867570   整理番号：97A0473543

シリコンと二酸化シリコン熱ボンディングに基づくシリコン盛上げストリップ導波器

Silicon Raised Strip Waveguides Based on Silicon and Silicon Dioxide Thermal Bonding.

著者 (5件)： ZHAO C Z (Xidian Univ., Xi’an, CHN) ,  LIU E K (Xi’an Jiaotong Univ., Shannxi, CHN) ,  LI G Z (Xi’an Jiaotong Univ., Shannxi, CHN) ,  LI N (Xi’an Jiaotong Univ., Shannxi, CHN) ,  GUO L (Sichuan Inst. Solid-State Circuits, Sichuan, CHN)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 9  号： 4  ページ： 473-474  発行年： 1997年04月 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい構造の絶縁体上のシリコン(SOI)導波器として,SiO...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  二酸化シリコン ,  熱ボンディング ,  ストリップ ,  導波器