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J-GLOBAL ID:200902185381783210   整理番号:01A0644850

微小位置決め用変位拡大てこ付き一体型XYZテーブルの開発

Displacement Characteristics of One-piece XYZ Table with Magnifying Lever for Fine Positioning.
著者 (4件):
資料名:
巻: 45  号:ページ: 63-74  発行年: 2001年06月10日 
JST資料番号: G0166B  ISSN: 1343-8565  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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標記一体型XYZテーブルは,光学・電子顕微鏡などの精密機器の...
シソーラス用語:
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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光学顕微鏡,望遠鏡  ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡 
タイトルに関連する用語 (6件):
タイトルに関連する用語
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