微小位置決め用変位拡大てこ付き一体型XYZテーブルの開発

文献

J-GLOBAL ID：200902185381783210 整理番号：01A0644850

Displacement Characteristics of One-piece XYZ Table with Magnifying Lever for Fine Positioning.

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資料名：
巻： 45 号： 2 ページ： 63-74 発行年： 2001年06月10日
JST資料番号： G0166B ISSN： 1343-8565 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

標記一体型XYZテーブルは,光学・電子顕微鏡などの精密機器の...

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光学顕微鏡,望遠鏡 , 電子顕微鏡,イオン顕微鏡

引用文献 (2件)：

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