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J-GLOBAL ID：200902185429969249   整理番号：00A0535729

方位対称表面波励起による大直径マイクロ波プラズマ源

Large-diameter microwave plasma source excited by azimuthally symmetric surface waves.

著者 (6件)： TUDA M (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  ONO K (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  OOTERA H (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  TSUCHIHASHI M (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  HANAZAKI M (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  KOMEMURA T (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 18  号： 3  ページ： 840-848  発行年： 2000年05月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 材料処理用に大直径の表面波励起プラズマ(SWP)源を設計した...

シソーラス用語： マイクロ波放電 ,...

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分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 方位 ,  対称 ,  表面波励起 ,  大直径 ,  マイクロ波プラズマ