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J-GLOBAL ID：200902185602044736   整理番号：02A0865032

NO₂ガスセンサとしてのNiO薄膜の感知特性

Sensing characteristics of NiO thin films as NO₂ gas sensor.

著者 (5件)： HOTOVY I (Slovak Univ. Technol., Bratislava, SVK) ,  REHACEK V (Slovak Univ. Technol., Bratislava, SVK) ,  SICILIANO P (Inst. Studio di Nuovi Materiali per l’Elettronica, Lecce, ITA) ,  CAPONE S (Univ. Lecce, Lecce, ITA) ,  SPIESS L (Technical Univ. Ilmenau, Ilmenau, DEU)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 418  号： 1  ページ： 9-15  発行年： 2002年10月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属Niターゲットの直流反応性マグネトロンスパッタリングによ...

シソーラス用語： *酸化ニッケル ,...

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分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： NO2 ,  ガスセンサ ,  NiO ,  薄膜 ,  感知