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J-GLOBAL ID：200902185620548202   整理番号：00A0492434

高精度のフォトリフレクタンススペクトル測定によって表面状態を評価する方法の開発

Development of Surface State Evaluation Method by High Precision Photo-Reflectance Spectrum Measurement.

著者 (7件)： INAGAKI K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  FUJIMOTO Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SUGIYAMA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ENDO K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  HIROSE K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORI Y (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Technology Reports of the Osaka University  (Technology Reports of the Osaka University)
巻： 50  号： 2366/2377  ページ： 49-54  発行年： 2000年04月15日 
JST資料番号： G0635A  ISSN： 0030-6177  CODEN： TROUA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体表面によるフォトリフレクタンススペクトルを高精度で差分測...

シソーラス用語： *フォトリフレクタンス ,...

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分類 (2件)： 表面の電子構造  (BM02080J) ,  その他の光学的効果  (BM08040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： フォトリフレクタンス ,  スペクトル測定 ,  評価 ,  開発