文献

J-GLOBAL ID：200902185943436110   整理番号：96A0685452

クリーンルーム内のボロン汚染に関する研究

A Study of Boron Contamination in Clean Room.

著者 (4件)： 加藤浩二 (日立プラント建設) ,  田中明雄 (日立プラント建設) ,  斎木篤 (日立プラント建設) ,  平田順太 (日立プラント建設)
資料名： 空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集  (空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 14th  ページ： 5-8  発行年： 1996年04月 
JST資料番号： Y0789A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 室内空気中のボロン低減のため,フィルタろ材のB発生量を測定し...

シソーラス用語： クリーンルーム ,...
準シソーラス用語： ULPAフィルタ

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分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (4件)： クリーンルーム ,  ボロン ,  汚染 ,  研究