文献
J-GLOBAL ID：200902186648392816   整理番号：96A0339976

Improved near surface heavy impurity detection by a novel charged particle energy filter technique.

著者 (5件)：
ISHIBASHI K

ISHIBASHI K について

(Univ. North Carolina, NC)

Univ. North Carolina, NC について

, 
PATNAIK B K

PATNAIK B K について

(Univ. North Carolina, NC)

Univ. North Carolina, NC について

, 
PARIKH N R

PARIKH N R について

(Univ. North Carolina, NC)

Univ. North Carolina, NC について

, 
TATENO H

TATENO H について

(Univ. North Carolina, NC)

Univ. North Carolina, NC について

, 
HUNN J D

HUNN J D について

(Oak Ridge National Lab., TN)

Oak Ridge National Lab., TN について


資料名：
Beam-Solid Interactions for Materials Synthesis and Characterization  (Beam-Solid Interactions for Materials Synthesis and Characterization)

Beam-Solid Interactions for Materials Synthesis and Characterization について


ページ： 399-404  発行年： 1995年 
JST資料番号： K19960154  ISBN： 1-55899-255-3  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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