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J-GLOBAL ID：200902186996527717   整理番号：99A0208074

基準を必要としない形状測定法の研究 平面形体の円周上でのフィゾー干渉計による測定実験

Profile Measurement with no Standard. Measuring Experiment of Flatness along a Circle using a Fizeau-Interferometer.

著者 (3件)： 園崎昭八 (高松工高専) ,  岩田耕一 (大阪府大 工) ,  岩橋善久 (大阪産大 短大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 65  号： 2  ページ： 300-304  発行年： 1999年02月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 形状測定においては,被測定形状に対する何らかの基準形状との差...

シソーラス用語： *形状測定 ,...
準シソーラス用語： 基準形状 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (16件)：

• GRZANNA, J. Aboslute Testing of Flatness Standards at Square Grid Points. Opt. Communi. 1990, 77, 2, 3, 107
• GRZANNA, J. Absolute Testing of Optical Flats at Point on a Square Grid. Appl. Opt. 1994, 33, 28, 6654
• 伊藤俊治. 2次元最小2乗逐次2点法による平面形状誤差の測定. 精密工学会誌. 1991, 57, 10, 1844
• 伊藤俊治. 2次元最小2乗逐次3点法による平面形状誤差の測定. 精密工学会誌. 1992, 58, 6, 1023
• 小尾誠. 平面度のオンザマシーン測定. 日本機械学会論文集C編. 1988, 54, 503, 1463

タイトルに関連する用語 (4件)： 形状測定 ,  研究 ,  フィゾー干渉計 ,  実験