フルオロメタンのプラズマ重合

IRIYAMA Y; NODA M

文献

J-GLOBAL ID：200902187229559243 整理番号：98A0814983

フルオロメタンのプラズマ重合

Plasma Polymerization of Fluoromethanes.

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巻： 36 号： 12 ページ： 2043-2050 発行年： 1998年09月15日
JST資料番号： C0337C ISSN： 0887-624X CODEN： JPLCAT 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

rfグロー放電プラズマ溶射によりCH₄...

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単独重合

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