単結晶SiCのELID鏡面研削における結晶方位の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902187592518842 整理番号：98A1010903

Influence of Crystalline Direction in ELID-Mirror Surface Grinding of Monocrystalline Silicon Carbide.

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資料名：
巻： 1996 ページ： 3-4 発行年： 1996年
JST資料番号： L0894A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ELIDシステムを搭載した超精密研削加工機を用いて,新素材と...

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研削

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