真空アークイオン源

BROWN I G

文献

J-GLOBAL ID：200902187617772587 整理番号：95A0012408

真空アークイオン源

Vacuum arc ion sources.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 65 号： 10 ページ： 3061-3081 発行年： 1994年10月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

真空アークは強電離金属プラズマの源であり,高電流金属イオン源...

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電子源,イオン源 , 気体放電

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