マイクロマシニング・ファブリケーション  均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性  異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ

梅原徳次

文献

J-GLOBAL ID：200902187733843645 整理番号：01A0595705

マイクロマシニング・ファブリケーション均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ

Possibility of a New Finishing Method with Well-Arranged Micro-Asperity Arrays. A Well-Arranged Micro-Asperity Arrays by Anisotropic Etching and a MAGIC Tool.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 45 号： 6 ページ： 283-287 発行年： 2001年06月01日
JST資料番号： L0473A ISSN： 0914-2703 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

マイクロ多刃工具による金型仕上げ加工の可能性を調べた。シリコ...

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