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J-GLOBAL ID：200902187988124278   整理番号：96A0314737

単原子固体からの垂直入射時のイオン誘起スパッタリング収量のエネルギー依存性

Energy Dependence of Ion-Induced Sputtering Yields from Monatomic Solids at Normal Incidence.

著者 (2件)： YAMAMURA Y (National Inst. Fusion Sci., Nagoya, JPN) ,  TAWARA H (National Inst. Fusion Sci., Nagoya, JPN)
資料名： Atomic Data and Nuclear Data Tables  (Atomic Data and Nuclear Data Tables)
巻： 62  号： 2  ページ： 149-253  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： B0728A  ISSN： 0092-640X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の入射イオン-標的固体について標題の依存関係を,イオンエ...

シソーラス用語： イオンビームスパッタリング ,...

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分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (8件)： 単原子 ,  固体 ,  垂直入射 ,  イオン ,  誘起 ,  スパッタリング ,  収量 ,  エネルギー依存性