プラズマ窒化法におけるプラズマ反応機構の推察と新しいプラズマ窒化法の開発

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J-GLOBAL ID：200902188824946664 整理番号：94A0409088

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資料名：
巻： 88th ページ： 113-114 発行年： 1993年09月
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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