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J-GLOBAL ID:200902188857156731   整理番号:98A0928944

ULSI用shallow接合ドーピング技術

Shallow junction doping technologies for ULSI.
著者 (2件):
資料名:
巻: R24  号: 1/2  ページ: I-VII 1-80  発行年: 1998年10月01日 
JST資料番号: T0341A  ISSN: 0927-796X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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MOSFETのサブナノメータ領域で使用される標記技術について...
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分類 (2件):
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半導体集積回路  ,  金属-絶縁体-半導体構造 
タイトルに関連する用語 (2件):
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